ชื่อเรื่อง : วิธีการกัดกรดโลหะโมลิบดีนัมจากสารซับสเตรท
ผู้แต่ง : Sachdev, K. G.; Ahmad, U. M.; Chen, H. H.; David, L. D.; Perry, C. H.; Wall, D.R.
แหล่งข้อมูล : US 6,221,269, 6 pp.
บทคัดย่อ (อังกฤษ) : A method is provided for etching and removing extraneous molybdenum or debris on ceramic substrates such as semiconductor devices and also for molybdenum etching in the fabrication of molybdenum photomasks. The method employs a multi-step process using an acidic aqueous solution of a ferric salt to remove (etch) the molybdenum debris followed by contacting the treated substrate with an organic quaternary ammonium hydroxide to remove any molybdenum black oxides which may have formed on the exposed surface of treated molybdenum features in ceramic substrates. The method is environmentally safe and the waste solutions may be easily waste treated for example by precipitating the ferric salts as ferric hydroxide and removing anions such as sulfate by precipitation with lime. The method replaces the currently used method of employing ferricyanide salts which create serious hazardous waste disposal and environmental problems.
บทคัดย่อ (ไทย) : วิธีการเพื่อใช้เตรียมสำหรับการกัดกรด (etching) และกำจัดโมลิบดีนัมหรือเศษตกค้างบนผิวของสารซับสเตรทเซรามิก เช่น สารกึ่งตัวนำ (semiconductor) และการกัดกรดโมลิบดีนัมจากการทอประสาน (fabrication) ของโมลิบดีนัมบนแผ่นมาสก์กระจก (photomasks) นั้น วิธีการดังกล่าวข้างต้นต้องใช้กระบวนการหลายขั้นตอนโดยการเตรียมสารละลายกรดของเกลือเฟอร์ริก (ferric salt) เพื่อกำจัดเศษตกค้างของโมลิบดีนัม จากนั้นนำไปทำปฏิกิริยากับสารซับสเตรทที่เตรียมไว้ด้วยสารอินทรีย์แอมโมเนียมไฮดรอกไซด์สี่ส่วน (organic quaternary ammonium hydroxide) เพื่อกำจัดแบลคออกไซด์ (black oxides) ของโมลิบดีนัมที่เกิดบนผิวหน้าของสารซับสเตรทเซรามิก วิธีการนี้เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมและสารละลายที่เป็นของเสียก็สามารถนำไปบำบัดได้ง่ายโดยการทำให้เกลือเฟอร์ริกตกตะกอน (precipitation) เป็นเฟอร์ริกไฮดรอกไซด์ (ferric hydroxide) และการกำจัดพวกแอนไอออน (anions) เช่น ซัลเฟต (sulfate) ให้ตกตะกอนโดยการใช้ปูนขาว (lime) อีกทั้งเป็นวิธีที่ใช้เกลือเฟอร์ริกแทนเกลือเฟอร์ริกไซนาไนด์ (ferricyanide) ซึ่งเป็นสารมีพิษและเป็นปัญหากับสิ่งแวดล้อม
ชนิดวัสดุเหลือใช้ : Ceramic
ประเภทเอกสาร : patent
ไฟล์เอกสารฉบับเต็ม : US6221269B1.pdf
